自潔式空氣過濾器的技術參數眾多，以下是一些常見的參數及其說明：
過濾精度：指過濾器能夠有效攔截的顆粒物最小粒徑，通常用微米（μm）表示。在單晶硅行業，一般要求過濾精度達到 0.1 - 1μm，以確保生產環境的高潔凈度。
過濾效率：表示過濾器對不同粒徑顆粒物的過濾能力，通常用百分比表示。例如，對于 0.5μm 粒徑的顆粒物，過濾效率為 99.9%，意味著該過濾器能夠攔截 99.9% 的 0.5μm 顆粒物。
處理風量：指過濾器在單位時間內能夠處理的空氣體積，單位為立方米每小時（m3/h）。單晶硅生產車間需根據生產規模和設備需求，選擇處理風量合適的自潔式空氣過濾器，一般范圍在幾千到幾萬立方米每小時。
工作壓力：包括過濾器的進氣壓力和允許的最大工作壓力。進氣壓力通常在幾十到幾百帕斯卡之間，而允許的最大工作壓力一般在數千帕斯卡以上，以確保過濾器在不同工況下穩定運行。
壓力損失：指空氣通過過濾器時產生的壓力降低值，單位為帕斯卡（Pa）。壓力損失越小，說明過濾器的阻力越小，對整個通風系統的能耗影響越小。一般自潔式空氣過濾器的初始壓力損失在 100 - 300Pa 左右，隨著使用時間和過濾阻力的增加，壓力損失會逐漸上升。
自潔周期：指過濾器自動進行反吹清灰的時間間隔，通常以分鐘或小時為單位。自潔周期可根據實際運行情況進行調整，一般在幾分鐘到幾十分鐘之間。
反吹壓力：反吹系統用于清除濾筒表面灰塵的壓縮空氣壓力，一般在 0.4 - 0.8MPa 之間。合適的反吹壓力能夠有效清除灰塵，同時避免對濾筒造成損壞。
濾筒數量：根據過濾器的處理風量和過濾面積要求，會配置不同數量的濾筒。濾筒數量越多，過濾面積越大，處理風量也相應增加。常見的自潔式空氣過濾器濾筒數量從幾個到幾十個不等。
設備尺寸：包括過濾器的長、寬、高，單位為毫米（mm）。設備尺寸需根據安裝空間和處理風量等因素確定，以便合理布置在單晶硅生產車間或設備附近。
材質：過濾器的外殼通常采用碳鋼、不銹鋼等材質，具有良好的耐腐蝕性和強度。濾筒的材質一般為玻璃纖維、聚酯纖維等，這些材質具有高效的過濾性能和良好的透氣性。
